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CVD鍍膜設備

在石英腔内充入乙炔氣和空氣,在高溫作用下,發生不完全化學反應,析出高純石墨,鍍在工具表面上。 設備特點: 采用不鏽鋼铠裝加熱器外加熱烘箱,加熱...
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在石英腔内充入乙炔氣和空氣,在高溫作用下,發生不完全化學反應,析出高純石墨,鍍在工具表面上。

設備特點:

采用不鏽鋼铠裝加熱器外加熱烘箱,加熱均勻,控溫精度高。

一鍵啓動,抽真空,充氣,加熱,控溫控壓,石英鍾罩和加熱烘箱升降全自動。

技術指标:

真空度可以達到1×10-1 Pa

加熱溫度≤600

溫度誤差±2




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