6 工位排氣台案例

設備用途

本設備主要用于 X 光管的生産制備,要求具備超高真空抽氣系統真空度高,烘烤溫度均勻、熱損失小、耗能低、操作維修方便等特點。

技術參數

本設備的主要技術指标如下：

a ． 結構形式： 2 個單腔室 3 工位結構，帶立式升降的烘烤箱

b ．單個真空腔尺寸： φ160×400（L）mm，排氣口間距 130mm。帶 1 個 CF150 的閘闆主閥， 1 個預抽閥和 1 個放氣閥。

c ． 極限真空度： 9×10-6 Pa（24 小時），使用一個月以後極限真空 7×10-6 Pa

d ．壓升率： <0.5Pa/h

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設備配置及說明

      該設備由腔體機架、烘箱加熱系統、真空系統(含真空解除充氣系統)、水冷系統、氣 路系統、電控系統等六部分組成。 

腔體機架： 真空腔采用衛生級無縫管， 内壁鏡面抛光, 表面噴砂亞光處理。機架采用碳鋼型材焊接，門闆采用不鏽鋼，外包鉛，造型美觀大方。

烘烤加熱系統： 采用雙層不鏽鋼内襯保溫棉結構。 壁，加熱均勻，保溫效果好。

真空系統： 真空系統由機械幹泵、分子泵、主閥、前級預抽閥、放氣閥和真空管路等 組成。

測量控制系統： 真空測量系統低真空采用複合真空計。

真規管采用 ZJ-12 型超高真空熱陰極電離規， 确保真空度測量準确性。

電器控制系統：

      真空系統泵和閥門控制均集中在觸摸屏進 行控制。采集電流、電壓、溫度、氣壓、水壓等數據， 集中在屏上顯示。并設有多個系統 保護控制點，保證系統安全可靠運行。

甲方安裝現場條件：

       1、電源：～10KVA、380V、三相、 50Hz；

       2、壓縮空氣源： ...........

       3、冷卻循環水：........

質量保證

按照 ISO9001 質量體系認證要求，針對客戶定制非标設備全制程導入質量控制計劃,

從設計輸入開始到設備制造全過程采用項目式管理。

成品出貨質量控制：依據成品出貨檢驗項目逐一對成品檢驗， 如（外觀、尺寸），整機執行相關性能檢測标準，并将檢驗結果記錄與報告，檢驗完成後作好成品标識。詳細的出貨報告書、合格證、裝箱清單、使用說明書及售後服務卡，建立詳細的檢驗數據。

驗收标準、方法

按本合同規定的配置 、 外觀及第二條之技術指标 ， 達到即驗收合格。

售後服務

       1、安裝質量： 我方向使用方提供設備所需外圍動力條件書面文件，并派人到現場配合進行設備就位、安裝和外圍動力條件施工驗核。設備到使用方後， 由我方負責安裝、調試，并按合同要求使設備達到規定的技術指标和功能要求。

       2、技術服務：我方派人安裝、調試合格後， 配合使用方的技術人員進行工藝試驗和調整設備工作狀 态，遇到問題及時處理。